CVD法制备高质量金刚石单晶研究进展

• 作者: 刘晓晨 姜龙 安晓明 李义锋 郭辉
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波等离子体 化学气相沉积(CVD) 金刚石单晶
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 页码范围: 1897-1901
• 页数: 5页
• 分类号: O78
• 字数: 3607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2017.10.004

摘要

本文介绍了制备单晶金刚石的主要方法并对其进行了对比,从籽晶选择、预处理和生长工艺几个方面综述了微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石单晶的研究进展,并简单介绍了目前国内外在单晶金刚石制备上的进展,最后对CVD金刚石单晶在电子领域的应用进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭辉		12	14	2.0	3.0
3	姜龙		11	12	3.0	3.0
7	刘晓晨		2	7	2.0	2.0
9	安晓明		4	7	2.0	2.0
17	李义锋		1	4	1.0	1.0