基于RGO-PEO复合薄膜的QCM湿度传感器研究

• 作者: 太惠玲 王斯 苏元捷 蒋亚东 谢光忠
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 聚氧化乙烯(PEO) 还原氧化石墨烯(RGO) 湿度传感器 石英晶体微天平(QCM) 复合薄膜 湿滞
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 67-71
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 1719字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2017.05.014

摘要

通过气喷工艺在石英晶体微天平(QCM)上制备了基于还原氧化石墨烯(RGO)与聚氧化乙烯(PEO)两种材料的复合湿敏薄膜,对环境湿度进行检测.所得纯PEO薄膜及RGO-PEO复合薄膜的表面形貌以及化学特性分别通过扫描电子显微镜(SEM)以及紫外-可见光谱进行表征.与基于纯PEO薄膜的湿度传感器相比,基于RGO-PEO复合湿敏薄膜的湿度传感器的动态响应大大提高,其灵敏度从16.3Hz/%RH提升到34.7Hz/%RH.此外,基于复合薄膜的湿度传感器拥有更快的响应/恢复时间,达到传感器吸附/脱附时总频移的63.2%所用时间分别为3 s和4 s,而纯PEO薄膜为10 s和12 s;湿滞为1.21%RH,且有较好的长期稳定性.这项研究揭示了基于RGO-PEO复合薄膜的QCM湿度传感器在常温下检测环境湿度的发展潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
2	谢光忠	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	48	408	10.0	18.0
3	太惠玲	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	21	203	7.0	14.0
4	王斯	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	2	1.0	1.0
5	苏元捷	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	2	1.0	1.0