激光超衍射加工机理与研究进展

• 作者: 夏峰 张心正 许京军
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 超衍射极限 激光微纳加工 激光直写 激光近场加工
• 年，卷（期）: 2017,（14）
• 所属期刊栏目: 专题: 电磁波衍射极限
• 页码范围: 97-113
• 页数: 17页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.144207

摘要

随着纳米科技和微纳电子器件的发展,制造业对微纳加工技术的要求越来越高.激光加工技术是一种绿色先进制造技术,具有巨大的发展潜力,已广泛应用于不同的制造领域.为实现低成本、高效率、大面积尤其是高精度的激光微纳加工制造,研究和发展激光超衍射加工技术具有十分重要的科学意义和应用价值.本文首先阐述了基于非线性效应的远场激光直写超衍射加工技术的原理与国内外发展状况,包括激光烧蚀加工技术、激光诱导改性加工技术和多光子光聚合加工技术等;然后介绍了几种基于倏逝波的近场激光超衍射加工技术,包括扫描近场光刻技术、表面等离子激元光刻技术等新型超衍射激光近场光刻技术的机理与研究进展;最后对激光超衍射加工中存在的问题及未来发展方向进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏峰	青岛大学物理科学学院	2	4	1.0	2.0