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摘要:
利用直流非平衡磁控溅射技术,在100℃条件下,在单晶硅上制备了具有红外增透效果的类金刚石薄膜,研究了偏压对薄膜结构、机械性能和红外光学性能的影响,解释了薄膜结构与性能之间的关系.利用场发射扫描电镜(FESEM)、Dektak150型台阶仪、Raman光谱仪、纳米压痕仪、椭偏仪和傅里叶红外吸收光谱仪表征薄膜形貌、结构、硬度、折射率和红外光学性能.实验结果表明:在偏压为-100V时,薄膜中sp3相含量最高,得到最大的纳米硬度14.8 GPa和最大折射率2.36,此时透光率为67.3%;在偏压为-200 V时,薄膜硬度为11.2 GPa,薄膜的折射率为2.06,最接近零反射膜所需折射率,此时透过率最大.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 3~5μm红外窗口增透涂层的制备与性能研究
来源期刊 红外技术 学科 工学
关键词 红外窗口 类金刚石薄膜 脉冲负偏压 力学性能 光学性能
年,卷(期) 2017,(8) 所属期刊栏目 材料与器件
研究方向 页码范围 677-681,687
页数 6页 分类号 TN213|TN214
字数 3560字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王浩 重庆大学材料科学与工程学院 32 181 7.0 12.0
2 曾宪光 四川理工学院腐蚀与防护实验室 59 427 10.0 18.0
3 黄佳木 重庆大学材料科学与工程学院 84 690 13.0 20.0
4 孙德恩 重庆大学材料科学与工程学院 11 62 6.0 7.0
5 裴晨蕊 重庆大学材料科学与工程学院 4 29 3.0 4.0
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类金刚石薄膜
脉冲负偏压
力学性能
光学性能
研究起点
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相关学者/机构
期刊影响力
红外技术
月刊
1001-8891
53-1053/TN
大16开
昆明市教场东路31号《红外技术》编辑部
64-26
1979
chi
出版文献量(篇)
3361
总下载数(次)
13
总被引数(次)
30858
论文1v1指导