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3~5μm红外窗口增透涂层的制备与性能研究
3~5μm红外窗口增透涂层的制备与性能研究
作者:
孙德恩
曾宪光
王浩
裴晨蕊
黄佳木
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
红外窗口
类金刚石薄膜
脉冲负偏压
力学性能
光学性能
摘要:
利用直流非平衡磁控溅射技术,在100℃条件下,在单晶硅上制备了具有红外增透效果的类金刚石薄膜,研究了偏压对薄膜结构、机械性能和红外光学性能的影响,解释了薄膜结构与性能之间的关系.利用场发射扫描电镜(FESEM)、Dektak150型台阶仪、Raman光谱仪、纳米压痕仪、椭偏仪和傅里叶红外吸收光谱仪表征薄膜形貌、结构、硬度、折射率和红外光学性能.实验结果表明:在偏压为-100V时,薄膜中sp3相含量最高,得到最大的纳米硬度14.8 GPa和最大折射率2.36,此时透光率为67.3%;在偏压为-200 V时,薄膜硬度为11.2 GPa,薄膜的折射率为2.06,最接近零反射膜所需折射率,此时透过率最大.
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文献信息
篇名
3~5μm红外窗口增透涂层的制备与性能研究
来源期刊
红外技术
学科
工学
关键词
红外窗口
类金刚石薄膜
脉冲负偏压
力学性能
光学性能
年,卷(期)
2017,(8)
所属期刊栏目
材料与器件
研究方向
页码范围
677-681,687
页数
6页
分类号
TN213|TN214
字数
3560字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
王浩
重庆大学材料科学与工程学院
32
181
7.0
12.0
2
曾宪光
四川理工学院腐蚀与防护实验室
59
427
10.0
18.0
3
黄佳木
重庆大学材料科学与工程学院
84
690
13.0
20.0
4
孙德恩
重庆大学材料科学与工程学院
11
62
6.0
7.0
5
裴晨蕊
重庆大学材料科学与工程学院
4
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光学性能
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研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
红外技术
主办单位:
昆明物理研究所
中国兵工学会夜视技术专业委员会
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-8891
CN:
53-1053/TN
开本:
大16开
出版地:
昆明市教场东路31号《红外技术》编辑部
邮发代号:
64-26
创刊时间:
1979
语种:
chi
出版文献量(篇)
3361
总下载数(次)
13
总被引数(次)
30858
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