基于SAW器件的微间隙压力监测传感器

• 作者: 卢文科 李媛媛 王俊
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 无源无线 微间隙 有限元分析 应力仿真
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 660-666
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.6
• 字数: 2557字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.05.005

摘要

声表面波SAW(Surface Acoustic Wave)器件能进行无源无线通信,为微间隙等特殊环境下物理量的测量提供了新的解决思路.研究设计了一种基于声表面波延迟线的接触应力传感器.围绕微间隙环境,研究了声表面波器件的结构类型,并确定压力监测的技术方案;根据设计原理,设计一种新型声表面波传感器,并利用有限元分析法对压电基片进行应力仿真;将设计出的传感器进行实验测试并提出温度补偿.通过对声表面波传感器设计的探究,验证了利用声表面波传感器实现微间隙压力监测的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文科	东华大学信息科学与技术学院	60	216	8.0	12.0
2	李媛媛	上海工程技术大学电子电气工程学院	30	59	4.0	6.0
3	王俊	上海工程技术大学电子电气工程学院	5	4	1.0	1.0