柔性低温多晶硅薄膜晶体管的弯曲稳定性

• 作者: 吴勇 姜姝 岳致富 李喜峰 杨祥 许云龙
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性 低温多晶硅薄膜晶体管 低温多晶硅 弯曲 稳定性
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1205-1209
• 页数: 5页
• 分类号: TN321
• 字数: 2728字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20173809.1205

摘要

研究了以聚酰亚胺为基板的p型低温多晶硅薄膜晶体管在不同弯曲半径下的偏压稳定性.当曲率半径从15 mm变到3 mm时,在拉伸弯曲状态下,阈值电压和平坦时保持一致(Vth=-1.34 V),迁移率μsat从45.65 cm2/(V·s)降到45.17 cm2/(V·s),开关比增大;在压缩弯曲状态下,转移特性曲线和平坦状态保持了非常好的一致性.在最小弯曲半径为3 mm时,进行了正负偏压稳定性测试,结果表明,器件依然具有很好的稳定性.