一种宽频带RF MEMS开关的设计研究

• 作者: 张斌珍 徐苏坪 段俊萍 王雄师
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS开关 驱动电压 插入损耗 隔离度 宽频带 高稳定性
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 341-344
• 页数: 4页
• 分类号: TN303
• 字数: 1515字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.03.18

摘要

针对现阶段常用的射频微机电系统(RF MEMS)开关频带窄和稳定性差这个特点,本文提出了一种结型梁RFMEMS开关,该微结构采用了的共面波导线的传输线形式以便于与其他器件串并联,使用结型梁增强了开关的稳定性.首先就RF MEMS开关模型的设计及工作原理进行介绍,然后利用有限元分析软件ANSYS对其驱动电压进行分析,并进一步利用HESS高频仿真软件,针对结型梁结构的RF MEMS开关进行射频性能的分析优化,得到了在频带宽为45 GHz,在15～ 60 GHz插入损耗小于0.15 dB,隔离度高达52 dB的RF MEMS开关,最后验证了其在较高加速度冲击条件下依然具有较高的稳定性,适用于恶劣环境.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌珍	中北大学电子测试技术重点实验室	107	535	12.0	18.0
2	段俊萍	中北大学电子测试技术重点实验室	40	96	6.0	7.0
3	王雄师	中北大学电子测试技术重点实验室	5	19	3.0	4.0
4	徐苏坪	中北大学电子测试技术重点实验室	3	16	3.0	3.0