一种基于二次模板匹配的晶圆对准方法

• 作者: 刘宵婵 刘红军 孟宪圆 李强 杨刚 郑金宝
• 来源期刊: 机电产品开发与创新
• 学科: 工学
• 关键词: 模板匹配 自动对准 晶圆 探针台 图像识别,机器视觉
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 测试与控制
• 页码范围: 141-143
• 页数: 3页
• 分类号: TH741
• 字数: 2504字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-6673.2017.05.053

摘要

介绍了在二极管探针台测试晶圆过程中一种晶圆自动对准方法.在承片台上放置晶固后,首先利用一次模板匹配实现对晶圆偏转角度的调整;然后,晶圆上的特征点移至CCD视场范围内,对初始特征点进行二次模板匹配,再将晶圆上的测试起点移至测试探针下方完成对准工作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨刚		11	4	1.0	1.0
2	刘宵婵		15	90	5.0	9.0
3	刘红军		9	17	2.0	3.0
4	孟宪圆		5	2	1.0	1.0
5	郑金宝		4	0	0.0	0.0
6	李强		3	0	0.0	0.0