超快激光加工的微结构界面对DLC薄膜磨损性能影响研究

• 作者: 刘星 孙刚 张伟 马国佳
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微结构界面 DLC薄膜 结合强度 耐磨性能
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 320-326
• 页数: 7页
• 分类号: TG17
• 字数: 2593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.03.15

摘要

采用飞秒超快激光在GCr15轴承钢基体表面上制备了条纹、方格结构,并研究对类金刚石(DLC)薄膜结构、结合强度和耐磨性能影响.利用Raman光谱、扫描电镜、白光干涉形貌仪分析薄膜化学结构及形貌,利用划痕实验仪及SRV磨损试验机对薄膜结合强度、磨损性能进行测定.研究表明,功率密度0.96、400 mm/min、加工间距150 ～350 μm条件下的获得的微结构对DLC薄膜sp3键含量有提升作用,并影响DLC薄膜的结合强度和耐磨性.在间距250 μm条纹结构上的DLC薄膜具有最佳的性能,硬度约16 GPa,最高结合力极限载荷52 N,面-面接触、20 N载荷下磨损率1.35×10-6 mm-3/N·m,耐磨性与无微结构DLC相比,最高可提高50倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙刚	高能束流加工技术重点实验室北京航空制造工程研究所	4	18	3.0	4.0
2	刘星	高能束流加工技术重点实验室北京航空制造工程研究所	4	18	3.0	4.0
3	马国佳	高能束流加工技术重点实验室北京航空制造工程研究所	5	18	3.0	4.0
4	张伟	高能束流加工技术重点实验室北京航空制造工程研究所	1	3	1.0	1.0