一种MEMS扭摆式强磁场测量传感器

• 作者: 张鉴 徐雪祥 戚昊琛 杨文华 鲍霖
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 磁场传感器 洛伦兹力 扭摆式
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 301-305
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2712字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2017.02.008

摘要

提出了一种扭摆式结构的MEMS电容式强磁场传感器,采用洛伦兹力驱动,通过测量硅板扭摆导致的电容变化来检测外部磁场强度,测量磁场的量程设计在0.2 T~2 T之间.首先介绍了传感器的工作原理,然后对其进行仿真,分析其物理特性,建立了模型并且求解出各阶模态下的振动形式,得到传感器主振模态频率为28.26 kHz.并模拟了受力过程中的形变量.最后介绍了其制造工艺流程,验证了传感器加工的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鉴	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	34	291	9.0	16.0
2	戚昊琛	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	22	99	6.0	8.0
3	杨文华	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	9	52	4.0	7.0
4	徐雪祥	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	1	3	1.0	1.0
5	鲍霖	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	1	3	1.0	1.0