基于甲烷气体红外吸收特性窄带滤波器的研究

• 作者: 付秀华 刘冬梅 张静 熊仕富
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 窄带滤波器 拆分技术 气体泄漏 探测与识别 灵敏度
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 光学器件
• 页码范围: 74-80
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20174610.1023003

摘要

根据气体探测系统灵敏度的要求,基于甲烷气体红外吸收光谱特性,结合工艺经验确定了滤波器的技术指标.采用“拆分技术”对气体滤波器进行膜系结构设计,降低了膜层产生的应力.通过电子束加热蒸发沉积薄膜,根据测试结果逆向分析,优化工艺参数.所研制的滤波器在7.669 μm波长处峰值透过率达到85.14％,通带半宽度为59 nm,覆盖了甲烷气体吸收区域,截止区达到了OD3,很好地抑制了背景噪声.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华	长春理工大学光电工程学院	141	525	11.0	15.0
2	张静	长春理工大学光电工程学院	67	132	6.0	8.0
3	刘冬梅	长春理工大学光电工程学院	49	107	5.0	8.0
4	熊仕富	长春理工大学光电工程学院	17	35	4.0	5.0