晶硅炉热场用碳材料在硅蒸汽中的腐蚀行为研究

• 作者: 施伟 李佳艳 谭毅 郝建洁
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碳材料 硅化 腐蚀行为 腐蚀参数
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 744-750
• 页数: 7页
• 分类号: TB332
• 字数: 3708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20160512

摘要

对晶硅炉热场用三种碳材料(石墨、C/C复合材料、硬质碳毡)在不同腐蚀条件下进行了硅蒸汽腐蚀实验,研究了不同碳材料的硅化腐蚀行为.结果表明:三种材料的结构组成不同,导致三种碳材料在高温环境下与硅蒸汽发生硅化腐蚀的程度不同,硅蒸汽主要通过材料的孔洞以及缺陷扩散进入材料内部进行腐蚀,腐蚀造成材料表面产生大量的裂纹,并且会造成C/C复合材料以及硬质碳毡材料内部严重的破坏.材料中碳纤维的存在方式以及纤维强度对硅化腐蚀程度有较大影响,C/C复合材料中的腐蚀主要是碳基体和碳纤维的剥离以及碳纤维的缩颈、劈裂等;而由强度较差的短碳纤维为主要组成的硬质碳毡材料的腐蚀最严重,其内部碳纤维出现了明显的碎断、粉化.腐蚀参数对材料硅化腐蚀的程度具有较大影响,随着腐蚀温度的升高以及腐蚀时间的延长,三种碳材料的硅化腐蚀程度均增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭毅	大连理工大学材料科学与工程学院	50	241	10.0	13.0
3	施伟	大连理工大学材料科学与工程学院	9	20	3.0	4.0
5	李佳艳	大连理工大学材料科学与工程学院	22	66	5.0	7.0
13	郝建洁	大连理工大学材料科学与工程学院	2	3	1.0	1.0