焰熔法生长钛酸锶单晶体生长室内温度分布的数值模拟

• 作者: 刘旭东 孙旭东 毕孝国
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 焰熔法 钛酸锶单晶体 生长室 温度分布
• 年，卷（期）: 2017,（16）
• 所属期刊栏目: 计算模拟
• 页码范围: 138-143
• 页数: 6页
• 分类号: TB321|O782
• 字数: 5014字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2017.016.029

摘要

通过研究焰熔法生长钛酸锶单晶体过程中生长室内的温度分布特征,分析了H2和O2流量、喷嘴孔径对温度分布的影响.结果表明,采用焰熔法生长SrTiO3晶体时,晶体熔帽表面温度和压力由中心逐渐向外降低;随着H2流量的增加,中心轴向的最高温度的位置基本不变,晶体熔帽温度和晶体四周的最高温度逐渐升高,只是升高幅度有所减小;晶体熔帽温度、压力及晶体周围烟气温度随O2流量增大而升高,而轴向最高温度则降低;增加喷嘴的中心孔径将使轴向最高温度、晶体熔帽温度和径向温度梯度降低,而喷嘴的H2孔径对生长室内轴向和径向温度分布的影响不是很明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙旭东	大连大学环境与化学工程学院	170	1880	22.0	36.0
3	毕孝国	沈阳工程学院新能源学院	56	193	7.0	9.0
4	刘旭东	大连大学环境与化学工程学院	7	6	2.0	2.0