非晶SiCxOy薄膜的可调强光发射机制

• 作者: 宋捷 宋超 张文星 李洪亮 林圳旭 王岩 王怀佩 郭艳青 黄锐
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光致发光 碳氧化硅 等离子增强化学气相沉积 发光机制
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 材料合成及性能
• 页码范围: 1167-1172
• 页数: 6页
• 分类号: O482.31|O469
• 字数: 2335字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20173809.1167

摘要

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,以SiH4、CH4和O2作为反应气源,通过调控O2流量在250 ℃下制备强光发射的非晶SiCxOy薄膜.利用光致发光光谱、荧光瞬态谱、Raman光谱、X射线光电子能谱及红外吸收谱对薄膜的光学性质和微结构进行表征与分析,进而讨论其可调可见光发射机制.实验结果表明,SiCxOy薄膜发光性质与薄膜中的氧组分密切相关.随着薄膜中氧组分的增加,其发光峰位由橙红光逐渐向蓝光移动,肉眼可见强的可见光发射.荧光瞬态谱分析表明,薄膜的荧光寿命在纳秒范围.结合X射线光电子能谱和红外吸收谱对薄膜的相结构和化学键合结构进行分析,结果表明薄膜的主要相结构和发光中心随O2流量的变化是其可调光发射的主要原因.