中国半导体设备业的状况研究

• 作者: 王龙兴
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路制造 半导体设备 替代进口
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造
• 页码范围: 54-58
• 页数: 5页
• 分类号: TN405|F426.63
• 字数: 3594字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2017.12.012

摘要

在中国国内,半导体设备业和半导体材料业通称为半导体支撑业.根据中国电子专用设备工业协会的估测,2016年国产半导体设备的销售规模为57.0亿元,同比增长20％.近年来,在国内集成电路产业持续快速发展的带动下,国内半导体设备业呈现出高增长的势头.在国家重大科技02专项和各级地方政府科技创新专项的大力支持下,多种先进制造设备开始替代进口设备,在国内集成电路大生产线上运行和使用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王龙兴		37	226	9.0	11.0