高/低气压氩气感应耦合等离子体电磁波衰减效果建模研究及实验验证

• 作者: 徐浩军 陈俊霖 魏小龙
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 感应耦合等离子体 电磁波衰减 流体模型 时域有限差分方法
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 290-297
• 页数: 8页
• 分类号: O539
• 字数: 4572字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.03.10

摘要

设计了一种雷达舱共形的电感耦合等离子体(ICP)发生装置,开展了ICP放电的流体模型研究,获得在高低气压及不同放电功率对ICP的电子密度分布的影响,据此得出与电磁散射相关的介电常数空间分布,在此基础上利用Z变换时域有限差分方法建立了电磁波在ICP中的传播模型,得出了在不同放电条件下ICP对电磁波的宽频段散射参量.同时开展实验,对该模型的结果进行验证.研究表明,气压为10 Pa时,ICP对电磁波的衰减带宽主要为6～8 GHz,平均反射率为-21 dB左右.气压为150 Pa时,衰减带宽为13 ～ 15 GHz,此时碰撞吸收效果会增强,但由于等离子体轴向体积的压缩导致衰减效果相比于5Pa下没有明显增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐浩军	空军工程大学等离子体动力学实验室	185	1011	14.0	22.0
2	魏小龙	空军工程大学等离子体动力学实验室	18	38	3.0	5.0
3	陈俊霖	空军工程大学等离子体动力学实验室	4	5	1.0	2.0