用于硅基氮化镓可调微镜的静电梳齿型微驱动器设计

• 作者: 刘昕 王永进 胡芳仁
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微驱动器 静电梳齿结构 氮化镓材料 可调微镜
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 95-97,104
• 页数: 4页
• 分类号: TM384
• 字数: 2079字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2017)01-0095-03

摘要

提出并设计了一种用于硅基氮化镓(GaN)可调微镜的静电梳齿型微驱动器.利用有限元软件建立了该器件的几何结构模型,对器件的结构进行了仿真优化.此外,采用微机电系统(MEMS)加工工艺,制作出了用于硅基氮化镓可调微镜的梳齿型微驱动器,并对其驱动特性进行测试.测试结果表明:所制作的微驱动器的位移随着电压的变化呈二次方关系,与仿真结果基本一致.当加载驱动电压为200 V时,微驱动器的驱动位移可达到1.08 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘昕	南京邮电大学光电工程学院	3	6	1.0	2.0