低介电聚酰亚胺/氟化石墨烯复合薄膜的制备及表征

• 作者: 卢翠英 白瑞 高平强
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺 氟化石墨烯 介电常数 表征
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 膜层材料与技术
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.46
• 字数: 2610字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.006

摘要

目的 为了解决超大规模电路高度集成所引起的RC延迟、信号串扰、能耗及噪声等一系列问题,制备具有低介电常数的聚酰亚胺/氟化石墨烯复合薄膜.方法 分别采用液相剥离法和两步法制备了氟化石墨烯溶液和聚酰胺酸前驱体溶液,通过溶液共混法制备聚酰亚胺/氟化石墨烯复合薄膜,并通过透射电镜、红外光谱仪、X射线衍射仪以及精密阻抗分析仪,对氟化石墨烯、聚酰亚胺及聚酰亚胺/氟化石墨烯复合薄膜的微观结构和介电性能进行表征研究.结果 氟化石墨烯和聚酰亚胺成功复合得到了聚酰亚胺/氟化石墨烯复合薄膜,且复合薄膜的介电常数由3.63降到了2.52.结论 成功制备了低介电常数的聚酰亚胺/氟化石墨烯复合薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高平强	榆林学院化学与化学工程学院	29	56	4.0	6.0
2	卢翠英	榆林学院化学与化学工程学院	36	166	7.0	11.0
3	白瑞	榆林学院化学与化学工程学院	13	24	3.0	4.0