原子层沉积Al2O3钝化膜在太阳电池上的应用研究

• 作者: 单伟 权微娟 王仕鹏 贺海晏 陆川 黄海燕
• 来源期刊: 太阳能
• 关键词: 原子层沉积 背钝化 Al2O3
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 技术产品与工程
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 字数: 1555字
• 语种: 中文

摘要

通过原子层沉积(ALD)法制备晶体硅钝化发射极背面接触(PERC)太阳电池中的Al2O3钝化膜,研究ALD工艺三甲基铝(TMA)流量、H2O流量对Al2O3沉积速率的影响.采用不同厚度的Al2O3钝化膜制备晶体硅PERC太阳电池,结果显示电池效率随Al2O3膜厚的增加呈先升后降趋势,Al2O3厚度为7 nm时电池效率最高,达到了19.15%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王仕鹏		24	37	4.0	5.0
2	黄海燕		23	39	4.0	5.0
3	陆川		27	46	4.0	5.0
4	贺海晏		3	1	1.0	1.0
5	单伟		9	4	1.0	2.0
6	权微娟		2	1	1.0	1.0