Mo薄膜性质及对CIGS形貌和结构的影响

• 作者: 于涛 宋斌斌 左宁 张传升 李新连 赵树利 郭凯 陈颉
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Mo薄膜 磁控溅射 铜铟镓硒 太阳能电池
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 266-271
• 页数: 6页
• 分类号: TB43|O484
• 字数: 4097字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.03.05

摘要

分别用磁控溅射法和共蒸法沉积了Mo和CIGS薄膜.考察了气压和CIGS高温沉积环境对Mo薄膜的影响,研究了Mo基底对CIGS结构和形貌的影响,给出了不同Mo基底上制备的电池效率.结果显示,Mo薄膜具有较强的(110)晶面择优取向,低气压沉积的薄膜结构致密,而高气压沉积的薄膜疏松多孔隙.经CIGS高温工艺后,Mo薄膜晶粒融合,形貌特征消失,其中0.1 Pa沉积的Mo薄膜晶粒融合后表面致密无孔隙,方阻下降,而高气压薄膜孔隙变大,方阻上升.高气压沉积的Mo薄膜中Se扩散现象明显,而低气压薄膜结构致密,有利于遏制Se的扩散.Mo薄膜对CIGS的生长有显著的影响,致密平整的Mo薄膜有利于CIGS晶粒长大形成柱状晶结构,并具有(112)晶面择优取向,而疏松的Mo膜上沉积的CIGS呈等轴晶结构,具有(220/204)晶面择优取向.电池结果显示,0.1 Pa沉积的Mo膜上制备的电池效率达到13.42％,气压增大时,填充因子显著降低,转换效率随之下降.