单晶硅棒在线晶线测量

• 作者: 陈世斌
• 来源期刊: 太阳能
• 关键词: 单晶硅生产 晶线 测量
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 技术产品与工程
• 页码范围: 27-28
• 页数: 2页
• 字数: 1259字
• 语种: 中文

摘要

单晶炉非接触式硅棒晶线的测量过程需始终在高温负压的环境中进行,针对此种现象,本文提供了一种单晶炉非接触式硅棒晶线测量方法,该方法可检测出硅棒在高温负压的环境中进行生长时是否存在晶线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈世斌		1	0	0.0	0.0