制备条件对Bi2Te3薄膜导电性能的影响

• 作者: 刘金刚 富笑男
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: Bi2Te3薄膜 物理气相沉积法 扫描电子显微镜 四探针测试法 制备温度 沉积时间
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 56-61
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3859字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2017.07.011

摘要

通过物理气相沉积法在石英基底上于不同条件下制备出五种Bi2Te3薄膜,并且利用扫描电子显微镜和XRD对各薄膜样品进行表征,最后运用四探针测试法测试样品导电性能.结果表明:制备温度和沉积时间对Bi2Te3薄膜的表面形貌和样品膜的导电性能影响很大;制备温度越高、沉积时间越长,所制薄膜的均匀度及致密度越高、导电性越好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	富笑男	河南工业大学理学院	21	35	4.0	5.0
2	刘金刚	河南工业大学理学院	3	1	1.0	1.0