单面抛光在PERC电池中应用的研究

• 作者: 杨一鸣 谢湘洲 赵保星 赵增超
• 来源期刊: 太阳能
• 关键词: PERC电池 背面抛光 掩膜 金刚线切割
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 技术产品与工程
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 字数: 2549字
• 语种: 中文

摘要

研究一种实现背面抛光的方法,在制绒工序中以氮化硅为掩膜,对金刚线切割单晶硅片进行单面制绒,该掩膜在制绒工序中被HF酸去除.未制绒面作为背钝化电池背抛光面,在低刻蚀量条件下获得了微纳尺度平整的背表面,结果表明:该工艺方法将PERC电池双面钝化后少子寿命由109μs提升至230μs,开路电压由651.8 mV提升至661.0 mV,电池转换效率由20.32%提升至20.81%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨一鸣	中国电子科技集团公司第四十八研究所	8	14	3.0	3.0
2	赵保星		1	3	1.0	1.0
6	赵增超		4	3	1.0	1.0
7	谢湘洲		2	3	1.0	1.0