大口径非球面镀膜均匀性分析与修正挡板设计

• 作者: 孙正文 程敏 艾力·伊沙木丁 许竞 赵斐 马路
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非球面 光学薄膜 膜厚均匀性 修正挡板 分布式挡板
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 250-254
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2305字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.03.02

摘要

针对1.2m口径天文望远镜非球面主反射镜的镀膜问题,建立了大口径非球面镀膜的膜厚分布模型,使用数值分析的方法计算了非球面镀膜相对于球面镀膜的膜厚分布差异.针对非球面镀膜的膜厚均匀性问题,给出了非球面修正挡板的设计方法.为减少修正挡板的加工成本,提高修正挡板的结构刚度,研究了球面面型挡板用于非球面镀膜的可行性,提出了一种圆周分布式排列的挡板设计方法.结果表明:宽度较窄的分布式挡板能够在避免划伤镜面的前提下更贴近镜面,因而有更好的遮挡效果以达到膜厚均匀性的要求,并且有更低的加工成本、更高的结构刚度,以及能够根据实际情况便捷地进行挡板调整和改造.