PEM控制合成碳掺杂钛氧薄膜的成分结构研究

• 作者: 文峰 薛健璐
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 反应溅射 Ti-O薄膜 碳掺杂 PEM 过渡区
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 页码范围: 1521-1526,1539
• 页数: 7页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3300字
• 语种: 中文

摘要

采用等离子体发射监测(PEM)系统实现闭环控制反应气体流量,使反应溅射稳定在滞回曲线过渡区,并以气相CO2和O2为碳源和氧源制备了碳掺杂钛氧(C∶Ti-O)薄膜.采用原子力显微镜、掠入射X射线衍射和X射线光电子能谱表征薄膜的表面形貌、结构、成分,紫外-可见分光光度计测试薄膜透射率并用Tauc作图法计算薄膜的带隙宽度.结果表明,随着辉光强度设定点(SP)的增大,沉积速率增大,薄膜中Ti-C键含量增多,带隙宽度降低,薄膜的结晶性增强且有利于金红石相的形成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	文峰		13	108	4.0	10.0
3	薛健璐		1	3	1.0	1.0