W1?xAlxN复合膜的显微组织和抗氧化性能

• 作者: 姚琲 肖晓
• 来源期刊: 中国有色金属学报（英文版）
• 关键词: W1?xAlxN膜 显微组织 硬度 抗氧化性能 Al2O3层
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 功能材料
• 页码范围: 1063-1070
• 页数: 8页
• 字数: 456字
• 语种: 英文
• DOI: 10.1016/S1003-6326(17)60124-9

摘要

采用反应磁控溅射仪制备一系列不同铝含量(0~38.6%,摩尔分数)的W1?xAlxN复合膜.利用EPMA、XRD、XPS、纳米压痕仪、SEM及HRTEM等对膜组成、显微组织、力学及抗氧化性能进行表征,研究Al含量对WAlN膜显微组织和抗氧化性能的影响.结果表明,WN膜为面心立方结构,W1?xAlxN膜由面心立方W(Al)N和六方纤锌矿结构AlN组成,具有很强的(111)和(200)取向.其硬度随Al含量增加先增大后减小.当Al含量为32.4%(摩尔分数)时硬度达到最大值,为36 GPa.与WN相比,W1?xAlxN膜表现出更优的抗氧化性能,这主要归因于表层形成的致密Al2O3层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚琲	天津大学材料科学与工程学院	39	287	9.0	15.0
5	肖晓	天津大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0