全光纤皮秒激光切割蓝宝石晶圆的实验研究

• 作者: 曾和平 胡小豹 郝强 郭政儒
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光制造 光纤激光器 超短脉冲 隐形切割 蓝宝石晶圆
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: "超快激光加工与微纳制造"专题
• 页码范围: 137-143
• 页数: 7页
• 分类号: O437
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.0102016

摘要

搭建了中心波长为1064nm的光纤激光器装置.全保偏光纤结构的锁模脉冲种子源结合选频单元和全光纤放大器,实现了重复频率连续可调、脉冲串中脉冲数可选、微焦量级单脉冲能量的皮秒激光输出.通过优化选取激光器的输出参数,对厚度为110μm的蓝宝石晶圆进行了切片.观察多种激光参数下切片后的微观形貌,发现单脉冲能量、脉冲串的脉冲数以及光束的光斑圆度会显著影响切割效果.在重复频率100kHz、脉冲串内7脉冲、光斑圆度大于97％、平均功率0.37W、划切速度600mm/s时,芯片外观最佳,良品率高达99.58％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾和平		17	14	3.0	3.0
2	郝强		14	5	1.0	2.0
3	郭政儒		3	0	0.0	0.0
4	胡小豹		1	0	0.0	0.0