基于谱域相位分辨光学相干层析的纳米级表面形貌成像

• 作者: 周红仙 朱立达 王毅 郭哲 马振鹤
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 谱域光学相干层析 相位分辨 表面形貌 相位包裹
• 年，卷（期）: 2017,（15）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 132-142
• 页数: 11页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.154202

摘要

提出了一种基于谱域相位分辨光学相干层析的纳米级表面形貌成像方法,由干涉光谱计算样品相邻两点的相位差,得到样品表面相位差分图,经过积分,重建样品表面形貌的定量分布.当相邻两点相位差的绝对值小于π,不产生相位包裹,避免了目前的干涉法相位解包裹存在的问题,将干涉法相邻两点相位差绝对值的限制条件由目前的π扩大到2π,提高了干涉法表面形貌成像的适用范围.参考面和样品置于同一平台之上,消除环境干扰及系统振动的影响,噪声幅度小于0.3 nm.通过对光学分辨率片及表面粗糙度标准样板的表面形貌成像,对本方法进行了验证,系统的轴向分辨率优于1 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王毅	东北大学秦皇岛分校控制工程学院	31	217	9.0	14.0
2	马振鹤	东北大学秦皇岛分校控制工程学院	4	6	2.0	2.0
3	周红仙	东北大学秦皇岛分校控制工程学院	10	9	2.0	3.0
4	郭哲	东北大学秦皇岛分校控制工程学院	6	88	4.0	6.0
5	朱立达	燕山大学电气工程学院	1	2	1.0	1.0