辉光放电质谱法检测AZO靶材中痕量元素及深度分布

• 作者: 潘丹梅 郑清洪 黄瑾
• 来源期刊: 中国测试
• 关键词: 辉光放电质谱法 AZO靶材 磁控溅射 深度分析
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 33-37
• 页数: 5页
• 字数: 3056字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11857/j.issn.1674-5124.2017.04.008

摘要

利用辉光放电质谱仪(GDMS)对铝掺杂的氧化锌(AZO)靶材中的常微量元素及其深度分布进行分析.首先考察AZO样品中的元素和Ar、H、O、N等气体元素形成的多原子离子干扰.其次利用GDMS和台阶仪对已经进行磁控溅射过的AZO靶材表面进行深度剖析,考察靶材上的主要污染元素随深度的纵向分布,最后利用GDMS对预溅射完后的AZO靶材内部杂质元素进行质谱分析.利用XPS进行验证,两种方法测试得到的Zn和Al的含量相近.分析结果表明GDMS是分析AZO等半导体靶材的有效方法,该方法可以对靶材造成的污染进行预判,避免溅射过程中造成的污染.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄瑾	中国科学院福建物质结构研究所测试中心	4	11	2.0	3.0
2	郑清洪	福建农林大学材料工程学院	2	2	1.0	1.0
3	潘丹梅	中国科学院福建物质结构研究所测试中心	6	21	3.0	4.0