CMOS电路中的漏电失效分析

• 作者: 马香柏
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: CMOS工艺 漏电 失效分析
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造
• 页码范围: 53-57
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 3001字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2017.04.012

摘要

在嵌入式存储器以及Logic、Analog等CMOS工艺中,漏电失效分析技术广泛应用.这里介绍了漏电失效分析流程、CMOS电路中的漏电测试项目、漏电失效分析工具,并通过具体案例,对漏电失效分析在CMOS工艺良率提升以及新产品导入上的应用作了详细阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马香柏		2	3	1.0	1.0