精密光测仪器的微振校正方法

• 作者: 李旭杰 沈松 陈辉
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 激光干涉仪 微振 积分 传感器 频响反演
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 字数: 2067字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2017.12.12

摘要

对于由地面微振引起的激光干涉仪测量误差问题,本文提出了一种基于地面微振精确测量误差校正方法.在常规地面环境下,使用高动态拾振器和4阶delta-sigma的ADC进行微振信号测量,并应用高精度积分算法和传感器频响反演计算,获得纳米级测量误差的微振数据,作为光测仪器的固定反光镜的位移,补偿到系统测量数据的计算中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈松		18	92	6.0	8.0
2	陈辉		2	0	0.0	0.0
3	李旭杰		6	31	3.0	5.0