精密转台角分度误差补偿

• 作者: 刘丰林 王珏 王福全 谢志江
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 精密转台 角分度误差 稀疏分解 误差补偿
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2165-2172
• 页数: 8页
• 分类号: TB922
• 字数: 4012字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172508.2165

摘要

为了修正精密转台中由圆光栅安装偏心、倾斜等引起的角分度误差,提出一种基于稀疏分解的角分度误差补偿方法.首先,分析了圆光栅安装偏心、倾斜等对精密转台角分度误差的影响.然后,根据圆光栅测角误差中不同阶次误差项的特性,结合稀疏分解思想与谐波分析建立了角分度误差补偿模型,对转台的角分度误差进行补偿.最后,搭建试验平台,采用提出的角分度误差补偿模型对精密转台角分度误差进行修正,验证该方法的有效性.试验结果表明:该方法能够将角分度精度提高2个数量级,对角分度误差最大值为90.85"的转台进行误差补偿后,能够使角定位误差的最大值减小到0.64".采用该方法进行误差补偿后,能够显著提高角度定位精度,结果满足精密转台角位移的高精度测试要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丰林	重庆大学机械工程学院	17	116	8.0	10.0