钕铁硼表面真空蒸镀Al膜的制备及其性能

• 作者: 刘家琴 吴玉程 张浩 张鹏杰 曹玉杰 衣晓飞 陈静武
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 烧结钕铁硼 永磁材料 真空蒸镀 Al薄膜 耐腐蚀性能
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 159-166
• 页数: 8页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 4186字
• 语种: 中文

摘要

为了提高烧结NdFeB磁体的耐腐蚀性能,采用真空蒸镀的方法在烧结NdFeB磁体表面沉积A1薄膜,并对工艺过程中的工艺参数进行优化.结果表明:真空室温度对Al薄膜的结构及耐腐蚀性能基本没有影响,但温度过高会导致Al薄膜表面岛状结构的增大,造成Al薄膜的厚度一致性难以控制;随着蒸发源温度的增加,Al薄膜的沉积速率逐渐增加,但是随着蒸镀时间的延长,Al薄膜的沉积效率逐渐降低,这是由于Al蒸发原子在基片上冷凝沉积的物理驱动力下降导致的.采用最佳工艺参数制备的厚度为8μm的Al薄膜,耐中性盐雾试验时间可达60 h,且Al镀层的涂覆对NdFeB磁体的磁性能基本没有影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴玉程	合肥工业大学材料科学与工程学院	356	3745	28.0	45.0
2	张浩	合肥工业大学工业与装备技术研究院	52	309	9.0	16.0
3	刘家琴	合肥工业大学工业与装备技术研究院	23	201	8.0	14.0
4	张鹏杰	合肥工业大学材料科学与工程学院	4	8	2.0	2.0
6	曹玉杰	合肥工业大学工业与装备技术研究院	2	3	1.0	1.0
9	衣晓飞		1	3	1.0	1.0
10	陈静武		2	3	1.0	1.0