基于ANSYS的3种四杆柔性铰链机构刚度特性分析

• 作者: 刘玉飞 杨雪锋 王承涛 王禹桥 盛连超 魏华贤
• 来源期刊: 机械传动
• 关键词: 单平行四杆柔性铰链机构 柔性铰链 刚度 MEMS 超精密工作台
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 设计计算
• 页码范围: 59-63,76
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.16578/j.issn.1004.2539.2017.05.012

摘要

单平行四杆柔性铰链机构作为移动副被广泛用于超精密工作台、精密传感器中.超精密工作台依靠其变形产生位移,故刚度特性对其定位精度影响较大.针对3种不同类型的四杆柔性铰链机构,对其刚度进行理论计算,同时,基于有限元软件ANSYS 12.0分析了3种不同类型的四杆柔性铰链机构.通过比较、分析得出了不同的外形尺寸对于四杆柔性铰链机构刚度的影响程度以及3种机构之间的刚度关系,为确定3种机构的适用场合和在MEMS设计过程中柔性铰链的选用提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨雪锋		37	317	10.0	17.0
2	王禹桥		55	492	12.0	20.0
3	刘玉飞		13	30	3.0	4.0
4	盛连超		4	13	2.0	3.0
5	王承涛		3	4	1.0	2.0
6	魏华贤		3	7	2.0	2.0