一种MEMS压力传感器测试分析

• 作者: 曹正宗 李盛楠 王健 赵华强
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 测试 满量程输出
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 计测技术
• 页码范围: 1-2
• 页数: 2页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 892字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15988/j.cnki.1004-6941.2017.02.001

摘要

MEMS压力传感器由于体积小使得工艺实现存在一定难度,样品的测试分析十分重要.本文对研制的三批样品进行测试分析,判断失效样品的制造原因,通过改进工艺,制备出符合要求样品,给出达标样品测试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王健	沈阳化工大学信息工程学院	49	161	7.0	11.0
2	赵华强	沈阳化工大学信息工程学院	2	0	0.0	0.0
3	李盛楠	沈阳化工大学信息工程学院	2	0	0.0	0.0
4	曹正宗	沈阳化工大学信息工程学院	2	0	0.0	0.0