用于ICF的非晶SiC微球制备及微观结构研究

• 作者: 何小珊 何智兵 刘磊 唐翠兰 张玲 易勇 王涛 王红斌 黄景林
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 化学气相沉积 高温热解 非晶SiC 微观结构 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 949-955
• 页数: 7页
• 分类号: O469
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2017.51.05.0949

摘要

以四甲基硅烷、反式二丁烯和氢气为工作气源,采用化学气相沉积-高温热解法成功制备了壁厚约21 μm的非晶SiC微球.利用能量色散X射线光谱仪、X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪、Raman光谱仪、扫描电子显微镜、白光干涉仪和X射线照相机对SiC微球的化学成分、结晶状态、表面形貌与粗糙度以及密度与球形度等进行了测量和分析.结果表明:在无氧环境下,通过450~900 ℃的高温热解及致密化可将在聚α甲基苯乙烯芯轴上沉积的掺硅碳氢聚合物涂层转变成致密的SiC微球.SiC微球呈非晶态,其C/Si原子比约为1.3,主要含有C-Si键和CC键,微观结构呈无规则状且颗粒分布均匀,密度、球形度和壁厚均匀性分别为2.62 g/cm3、99.8%和96.8%.