紫外固化系统热辐射滤光膜的研制

• 作者: 付秀华 张静 杨永亮 熊仕富 范家晨 陈志航
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 紫外固化系统 热辐射 过渡层 滤光膜
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与薄膜
• 页码范围: 148-154
• 页数: 7页
• 分类号: TG154.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.0303002

摘要

为了降低紫外固化系统光源的热辐射,根据光学薄膜理论,以HfO2、AlF3和Cr作为镀膜材料,采用反射与吸收相结合的结构,设计了紫外高反射、可见/近红外高吸收的滤光膜.通过在基底和膜系之间增镀Al膜作为过渡层,提高了薄膜的牢固性.通过优化工艺参数,研制了220～400nm波段平均反射率为90.6％、420～2000nm波段平均吸收率为92.4％的滤光膜.