甲烷气体探测与识别系统窄带滤光膜的研制

• 作者: 付秀华 刘冬梅 张静 熊仕富 范家晨
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 拆分技术 逆向分析法 敏感度分布 窄带滤光膜
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与薄膜
• 页码范围: 155-163
• 页数: 9页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.0303003

摘要

依据光学薄膜理论及光学材料的特性,结合膜系设计软件,采用拆分技术原理,实现了双面膜系的设计,解决了单面膜层过厚、应力过大的问题.利用逆向分析法对实验测试结果进行反演,通过对膜层敏感度分布的研究,分析了产生误差的原因.采用不同的监控方式,使膜系的敏感层厚度得以精准控制.最终研制的滤光膜光谱测试结果表明,3.31μm单点透射率为93.7％,通带半峰全宽为49nm,1～3.2μm 和3.4～5μm 波段平均透射率为 0.17％,满足系统使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华		141	525	11.0	15.0
2	张静		67	132	6.0	8.0
3	刘冬梅		49	107	5.0	8.0
4	熊仕富		17	35	4.0	5.0
5	范家晨		3	2	1.0	1.0