气动驱动渐变厚度变曲率反射镜技术

• 作者: 丁蛟腾 刘美莹 樊学武 王亚军 解晓蓬 许亮 赵惠
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学变焦 无运动部件变焦 变曲率反射镜 气动驱动 变厚 薄板弹性理论
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 成像系统
• 页码范围: 100-110
• 页数: 11页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20174610.1011002

摘要

在完善基于有限元分析的跨平台综合优化流程的基础上,获得了反射镜最优结构参数,并通过21阶Zernike多项式面形拟舍得到球差是导致反射镜形变过程中面形精度退化的主导像差模式.根据有限元优化得到的最优结构参数研制了第二块气动驱动渐变厚度变曲率反射镜样片(口径135 mm,中心厚度8 mm,初始曲率半径2 807 mm)并进行了曲率变化能力及面形精度保持试验研究.研制工艺的改进使本文所研制的变厚铝合金反射镜初始面形精度优于λ/80(632.8 nm),当驱动气压达到约0.07 MPa时,反射镜中心形变量接近37 μm并且去掉球差影响后的面形精度可以优于λ/40(632.8 nm).与前期所研制的第一块样片相比,第二块样片的中心形变能力以及面形精度保持能力均显著提升.