硅-蓝宝石压力传感器温度补偿研究

• 作者: 卢超 李欣 郭占社 黄漫国
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高温 硅蓝宝石 压力传感器 温度补偿
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 113-116
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2204字
• 语种: 中文

摘要

针对硅-蓝宝石压力传感器在测量过程中容易受温度影响的问题,提出了一种基于串并联恒定电阻法和分段插值法的温度补偿方法;从硬件补偿电路和软件补偿算法两个方面论述了补偿方法的原理及实现方法,并通过实验验证了该方法的可行性.实验结果表明,最终制成的硅-蓝宝石压力传感器最大相对误差为0.357％,综合误差小于0.129％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭占社	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	29	89	5.0	8.0
2	黄漫国		2	8	2.0	2.0
6	李欣		4	5	1.0	2.0
8	卢超	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	1	5	1.0	1.0