金刚石粉体表面CVD法镀钨的工艺研究

• 作者: 李辉 王元元 马捷 魏建忠 黄新壮
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石粉体 钨镀覆层 抗弯强度 热膨胀系数
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 膜层材料与技术
• 页码范围: 98-102
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.442
• 字数: 2008字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.02.015

摘要

目的 增强金刚石与基体的界面结合能力.方法 首先对金刚石粉体进行"除有机物→除油→粗化→烘干"处理.采用自制化学气相沉积装置,研究了以H2和WF6为反应气体在金刚石表面CVD法镀覆钨工艺.使用扫描电镜(SEM)、能谱(EDS)、X射线衍射(XRD)、透射电镜(SEM)等检测方法,分析了金刚石粉体镀层钨的微观形貌、成分、组织结构,对镀层包覆金刚石粉体相关性能进行了初步测试.结果 在粒径约为223.6μm的金刚石表面获得均匀致密镀覆层的最佳工艺参数为:沉积温度670℃,沉积时间2 min,H2通入量1 L/min,WF6消耗量2 g/min.沉积温度为580℃时,获得的均匀致密钨镀层的厚度为150 nm,且镀层杂质含量较少.将镀覆钨的金刚石和普通金刚石分别与铜粉热压烧结后进行抗弯强度测试,结果 显示含镀覆钨的金刚石试样抗弯强度提高了38.6%.加入镀钨金刚石压块的热膨胀系数比加入普通金刚石的有所降低,并且加入的镀钨金刚石粉体越多,压块的热膨胀系数越低.结论 镀钨后的金刚石颗粒的表面性能得到改善,与基体的结合能力得到提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏建忠	北京工业大学材料科学与工程学院	49	243	8.0	14.0
2	马捷	北京工业大学材料科学与工程学院	39	235	9.0	13.0
3	李辉	北京工业大学材料科学与工程学院	63	567	12.0	21.0
4	王元元	北京工业大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
5	黄新壮	北京工业大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0