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摘要:
采用化学气相沉积(CVD)方法在SiO2/Si衬底生长了ZnO纳米线阵列,纳米线长约为15 μm,直径为100~500 nm.通过改变溅射沉积时间(0~150 s),在ZnO纳米线表面包覆了不同厚度的Pd薄膜.在Ar气氛中,经800 ℃高温退火后,制备出Pd颗粒表面修饰的ZnO纳米线阵列并对其进行了气敏测试.对于乙醇而言,所有传感器最佳工作温度均为280 ℃.溅射时间的增加(3~10 s)导致ZnO纳米线表面Pd纳米颗粒数量及尺寸增加,传感器响应值由2.0增至3.6.过长的溅射时间 (30~150 s)将导致Pd颗粒尺寸急剧增大甚至形成连续膜,传感器响应度显著降低.所有传感器对H2均表现出相对较好的选择性,传感器具有较好的响应-恢复特性和稳定性.最后,探讨了Pd颗粒表面修饰对ZnO纳米线阵列气敏传感器气敏特性的影响机制.
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关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 Pd颗粒表面修饰ZnO纳米线阵列的制备及其气敏特性
来源期刊 发光学报 学科 工学
关键词 气敏特性 ZnO纳米线 Pd颗粒 表面修饰
年,卷(期) 2017,(8) 所属期刊栏目 器件制备及器件物理
研究方向 页码范围 1033-1038
页数 6页 分类号 O484.4|TP212.2
字数 2308字 语种 中文
DOI 10.3788/fgxb20173808.1033
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气敏特性
ZnO纳米线
Pd颗粒
表面修饰
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
发光学报
月刊
1000-7032
22-1116/O4
大16开
长春市东南湖大路16号
12-312
1970
chi
出版文献量(篇)
4336
总下载数(次)
7
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
广东省自然科学基金
英文译名:Guangdong Natural Science Foundation
官方网址:http://gdsf.gdstc.gov.cn/
项目类型:研究团队
学科类型:
论文1v1指导