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Pd颗粒表面修饰ZnO纳米线阵列的制备及其气敏特性
Pd颗粒表面修饰ZnO纳米线阵列的制备及其气敏特性
作者:
刘新科
吕有明
曹培江
曾玉祥
朱德亮
杨志博
柳文军
许望颖
贾芳
韩舜
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
气敏特性
ZnO纳米线
Pd颗粒
表面修饰
摘要:
采用化学气相沉积(CVD)方法在SiO2/Si衬底生长了ZnO纳米线阵列,纳米线长约为15 μm,直径为100~500 nm.通过改变溅射沉积时间(0~150 s),在ZnO纳米线表面包覆了不同厚度的Pd薄膜.在Ar气氛中,经800 ℃高温退火后,制备出Pd颗粒表面修饰的ZnO纳米线阵列并对其进行了气敏测试.对于乙醇而言,所有传感器最佳工作温度均为280 ℃.溅射时间的增加(3~10 s)导致ZnO纳米线表面Pd纳米颗粒数量及尺寸增加,传感器响应值由2.0增至3.6.过长的溅射时间 (30~150 s)将导致Pd颗粒尺寸急剧增大甚至形成连续膜,传感器响应度显著降低.所有传感器对H2均表现出相对较好的选择性,传感器具有较好的响应-恢复特性和稳定性.最后,探讨了Pd颗粒表面修饰对ZnO纳米线阵列气敏传感器气敏特性的影响机制.
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摩擦学性能
内容分析
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内容分析
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关键词热度
相关文献总数
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文献信息
篇名
Pd颗粒表面修饰ZnO纳米线阵列的制备及其气敏特性
来源期刊
发光学报
学科
工学
关键词
气敏特性
ZnO纳米线
Pd颗粒
表面修饰
年,卷(期)
2017,(8)
所属期刊栏目
器件制备及器件物理
研究方向
页码范围
1033-1038
页数
6页
分类号
O484.4|TP212.2
字数
2308字
语种
中文
DOI
10.3788/fgxb20173808.1033
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ZnO纳米线
Pd颗粒
表面修饰
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
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期刊影响力
发光学报
主办单位:
中国物理学会发光分会
中科院长春光机所
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-7032
CN:
22-1116/O4
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路16号
邮发代号:
12-312
创刊时间:
1970
语种:
chi
出版文献量(篇)
4336
总下载数(次)
7
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
广东省自然科学基金
英文译名:
Guangdong Natural Science Foundation
官方网址:
http://gdsf.gdstc.gov.cn/
项目类型:
研究团队
学科类型:
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