非焊接式纳米线机械性能测试器件结构设计

• 作者: 刘梅 吴智政 曹宁 杜林 饶进军
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 机械特性 刚度差 非焊接式 静电驱动 接触滑移
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 831-835
• 页数: 5页
• 分类号: TK513.5
• 字数: 3037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.06.005

摘要

纳米线机械性能测试中,常见MEMS器件大都采用焊接或沉积方式固定纳米线,限制了器件寿命和测试重复性.针对焊接方式测试的不足,设计了一种非焊接式纳米线机械性能测试MEMS器件.在静电叉指和支撑梁结构的基础上,设计了利用梁刚度差进行夹紧和拉伸操作的结构,其中设计了V型结构以避免焊接纳米线.利用有限元仿真软件进行了仿真验证,确定了最优结构尺寸,V型缝隙夹角小于22.5°时能满足纳米线机械性能测试要求,所设计器件提高了测试器件的重复利用率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	饶进军	上海大学机电工程与自动化学院	18	164	6.0	12.0
2	刘梅	上海大学机电工程与自动化学院	12	69	4.0	8.0
3	吴智政	上海大学机电工程与自动化学院	13	44	2.0	6.0
4	杜林	上海大学机电工程与自动化学院	1	0	0.0	0.0
5	曹宁	上海大学机电工程与自动化学院	1	0	0.0	0.0