空间太阳电池玻璃盖板表面超薄ITO防静电层的设计及制备工艺

• 作者: 周灵平 朱家俊 李德意 杨武霖 符立才 金鹤
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铟锡(ITO)薄膜 防静电 空间太阳电池 MgF2薄膜 电子束蒸发 玻璃盖板
• 年，卷（期）: 2017,（17）
• 所属期刊栏目: 太阳能电池材料
• 页码范围: 158-162
• 页数: 5页
• 分类号: TB34
• 字数: 4316字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2017.017.023

摘要

ITO/MgF2复合薄膜既具有较好的表面导电性能又具有较高的透过率,可应用于空间太阳电池玻璃盖板表面.文章主要对ITO/MgF2复合薄膜中表层的超薄ITO薄膜进行了研究.利用TFCalc软件模拟了ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光学性能的影响,根据模拟结果采用电子束蒸发法在衬底上依次沉积MgF2薄膜和氧化铟锡(ITO)薄膜,研究了ITO薄膜工艺参数(沉积速率、沉积温度和工作气压)和ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光电性能及微观结构的影响.当ITO薄膜沉积速率为0.05 nm/s、沉积温度为400℃、工作气压为2.3×10-2 Pa、厚度为10 nm时,表层ITO薄膜基本连续,其方块电阻(1.94 kQ/□)已符合设计需求,ITO/MgF2复合薄膜在可见光区间(400～800nm)的平均透过率达到89.00％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周灵平	湖南大学材料科学与工程学院	48	322	11.0	16.0
3	李德意	湖南大学材料科学与工程学院	44	411	11.0	19.0
4	朱家俊	湖南大学材料科学与工程学院	28	127	6.0	10.0
6	金鹤	湖南大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
11	符立才	湖南大学材料科学与工程学院	4	5	1.0	2.0
12	杨武霖	湖南大学材料科学与工程学院	7	14	2.0	3.0