飞秒激光正交线扫描诱导表面微纳结构

• 作者: 刘佐濂 刘海英 张成云 满文庆
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒脉冲激光 激光烧蚀 纳米结构材料 微加工
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 3063-3069
• 页数: 7页
• 分类号: TP249|TB333
• 字数: 3213字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172512.3063

摘要

通过控制激光偏振与扫描方向,利用飞秒脉冲激光正交线扫描的微加工方式,在硅和不锈钢表面诱导出了规则分布的复合表面微纳结构并分析了激光能量密度对微纳表面结构形成的影响.实验显示:当激光的能量密度接近材料烧蚀阈值时,在硅表面诱导出了周期条纹嵌套纳米孔的双层复合二维结构,在不锈钢表面则诱导出了依赖于激光偏振方向的纳米点阵列分布,分析认为纳米点阵列是由周期条纹结构边缘发生断裂而生成的.另外,当激光的能量密度大于材料烧蚀阈值时,在硅和不锈钢表面会烧蚀出规则分布的微米级孔洞结构.实验结果表明:第一次扫描诱导出的表面微纳结构增加了对入射激光的吸收,促进入射激光与表面等离子体波的耦合,加强了后扫描的烧蚀效果,使得后扫描诱导出的微纳结构占主导.文中提出的正交线扫描的加工方式为微纳表面结构的制备提供了新的思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘佐濂	广州大学物理与电子工程学院	41	89	5.0	6.0
2	张成云	广州大学物理与电子工程学院	16	28	3.0	4.0
3	刘海英	华南师范大学信息与光电子科技学院	11	23	3.0	4.0
4	满文庆	广州大学物理与电子工程学院	10	20	3.0	4.0