半导体硼柱形微靶电火花加工技术

• 作者: 宋成伟 张昭瑞 张海军 李国 蒋柏斌 谢军 高莎莎 魏胜 黄燕华
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 惯性约束聚变 硼靶 微细加工 电火花铣削
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 1915-1920
• 页数: 6页
• 分类号: TG66
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2017.51.10.1915

摘要

在惯性约束聚变研究中,硼的柱形微靶可作为黑腔填充材料.本文通过电火花铣削加工技术,采用含碳较高的电介质,利用导电性能较好的钨钢作电极材料,实现了半导体硼柱形微靶加工.通过奥林巴斯测量显微镜对硼柱直径进行了测量,测量结果表明,硼柱的直径加工精度可控制在小于±10μm.采用扫描电镜对形貌进行了分析,结果表明,加工前后硼的表面形貌未改变.通过能谱分析了硼柱表面的导电层成分及通过X射线能谱(XPS)分析了碳元素价态,结果表明,电火花铣削加工过程中,由于电介质分解生成游离态的碳及电极材料熔融后沉积在硼表面,形成辅助导电层,通过对辅助导电层加工,产生的瞬时高温使硼熔融气化,从而实现对半导体硼的加工.