衍射光栅机械刻划成槽过程中的应力拓扑分析

• 作者: 史国权 田在祺 石广丰 郭云霞
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅 应力分布 二次挤压 非线性变形
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 制造软件
• 页码范围: 13-17,35
• 页数: 6页
• 分类号: TH12
• 字数: 3427字
• 语种: 中文

摘要

衍射光栅机械刻划属于超精密刻划,其刻划过程是利用金刚石刻刀对铝膜材料进行的多线顺序刻划.由于光栅槽面精度要求较高,而光栅槽面精度与其表面应力分布有很大关系,为此我们以衍射光栅为研究背景,通过CATIA对金刚石尖劈刀进行三维建模并利用缩小比例功能在DERORM-3D中建立衍射光栅机械刻划的有限元仿真模型,以更好地分析衍射光栅机械刻划过程中光栅槽面的应力分布情况,揭示衍射光栅机械刻划过程中槽面的弹塑性变形规律,为提高槽形质量提高依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石广丰	长春理工大学机电工程学院	69	202	6.0	11.0
2	史国权	长春理工大学机电工程学院	88	340	9.0	15.0
4	田在祺	长春理工大学机电工程学院	2	3	1.0	1.0
7	郭云霞	长春理工大学机电工程学院	3	5	2.0	2.0