温度对类富勒烯碳氮薄膜微观结构与摩擦学性能的影响

• 作者: 万志华 冯兴国 周晖 张凯峰 张文晶 杨拉毛草 胡汉军 郑玉刚 霍丽霞
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 类富勒烯 硬度 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 7-12
• 页数: 6页
• 分类号: TG156.88|TH117.1
• 字数: 3068字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2017.11.002

摘要

采用直流反应磁控溅射分别在200、250、300和350℃条件下沉积类富勒烯碳氮薄膜,利用X射线光电子能谱(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)表征薄膜的微观结构形貌,采用薄膜综合性能测试仪以及通过大气球盘摩擦试验研究薄膜的力学性能及摩擦学性能.结果显示:制备的类富勒烯CNx薄膜中存在sp2 C-C、sp2N-C和sp3 C-N化学键;随着沉积温度的升高,薄膜的结构变得更加致密,硬度、弹性模量以及弹性恢复系数逐渐增大,摩擦因数和磨损率降低;沉积温度为350℃制备的薄膜摩擦因数和磨损率最低,表现出优异的耐磨损性能.