常压等离子体射流沉积ZnO及其传感特性研究

• 作者: 张健 韩琦 黄淳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 常压等离子体 电容式 气溶胶 ZnO
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 368-372
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3410字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.03.006

摘要

提出了一种环保、高效、低成本的传感器制作方法.应用等离子体射流喷枪沉积ZnO半导体材料,其中等离子体射流喷枪的气源为N2,电源采用输出频率为20 kHz的高频高压电源.使用Zn(NO3)2的水溶液作为前驱物,经过雾化装置形成气溶胶,气溶胶在等离子体的氛围中成功在衬底上沉积出一层ZnO半导体材料,通过XRD、SEM、UV-Vis等对其进行表征分析.并对基于该方法制备的ZnO湿度传感器性能进行表征.ZnO沉积时间为5 min时的灵敏度最高,低湿和高湿下分别为0.435 pF/% RH和19.634 pF/% RH,同时该样品的迟滞、响应时间与恢复时间亦是最优.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张健	华东师范大学信息科学技术学院	88	357	8.0	15.0
2	黄淳	华东师范大学信息科学技术学院	3	0	0.0	0.0
3	韩琦	华东师范大学信息科学技术学院	3	10	2.0	3.0