耐冲刷薄膜铂电阻热流传感器研制

• 作者: 刘济春 孔荣宗 李强
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激波风洞 热流传感器 耐冲刷 多层膜
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 623-629
• 页数: 7页
• 分类号: V216|TP212
• 字数: 4217字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13382/j.jemi.2017.04.019

摘要

薄膜铂电阻热流传感器是激波风洞气动热环境试验的主要测量手段,其缺点是不耐冲刷、易损坏,影响风洞试验效率.为增强铂薄膜热流传感器的耐冲刷能力,以厚度0.06 μm的铬薄膜作为底衬,既能增强铂薄膜在玻璃基体上的附着力,又不会影响铂薄膜的电阻温度系数,并覆盖厚度0.2 μm的二氧化硅薄膜作为保护膜,制作了3层膜结构和两种两层膜结构的热流传感器样品.分析了铬膜及二氧化硅膜对热流传感器电阻温度系数的影响,对3层膜和单层膜热流传感器的一维传热过程进行对比仿真计算,证明二氧化硅膜不会对激波风洞热流测量结果带来明显的影响.通过开展热流传感器的对比验证试验,证明多层膜热流传感器热流测量结果的可靠性,其热流测量精度和耐冲刷能力都得到一定程度提升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔荣宗	中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所	12	61	5.0	7.0
2	刘济春	中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所	8	32	4.0	5.0
3	李强	中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所	12	29	3.0	5.0